事件：2022年12月10日，公司发布拟定增募资18亿公告：本次非公开发行募集资金不超过（含）人民币18亿元，扣除发行费用后，4亿元用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，1.6亿元用于至纯北方半导体研发生产中心项目，7亿元用于启东半导体装备产业化基地二期项目；发行股票数量不超过本次发行前上市公司总股本的30%，即不超过96,029,542股（含本数）。

　　点评：布局14nm及以下高阶制程单片湿法装备及零部件业务，摆脱对高阶设备核心零部件的进口依赖。

　　《单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目》旨在研发先进制程工艺的高阶半导体湿法工艺模块、单片式腔体、高纯度阀等，拟研发的零部件及模块产品完全适用于14nm及以下的逻辑芯片及高密度存储芯片的制造工艺及产业化，能够大力推动单片式腔体的国产化进程，推动高和极高深宽比清洗工艺技术研发水平，项目达成后将形成高阶制程单片湿法模块年产100套，各类零部件年产近2,000套，达产后预计年均销售收入7.2亿元。

　　持续发力半导体支持类设备和半导体零部件业务，建立北方区域协同中心。

　　《至纯北方半导体研发生产中心项目》在北京亦庄设立湿法设备、系统集成及支持设备及核心零部件的北方生产研发基地，达产后预计将实现年产系统集成及支持设备30套、半导体湿法设备15台、半导体零部件2,610套的生产能力。近年来公司在北方地区的订单增长较快，生产一直处于饱和运行状态，本次投资项目的新增产能有望顺利消化，达产后预计年均销售收入4.8亿元。

　　积极布局炉管、涂胶显影等半导体设备，打开广阔成长空间。《启东半导体装备产业化基地二期项目》主要用于研发并量产炉管与涂胶显影等集成电路设备、光伏制绒清洗设备等泛半导体工艺设备，以及设备配套核心零部件等产品，项目达成后将形成年产炉管、涂胶显影等集成电路设备50套，光伏工艺设备120套，面板制程设备10套，系统集成及工艺设备逾3,000套，配套零部件逾30,000套的生产规模。公司客户涵盖中芯国际、合肥长鑫、上海华虹等一线厂商，本次扩产的工艺设备产品线将涵盖现有的泛半导体客户群，实现多产品布局，达产后预计年均销售收入12.1亿元。

　　盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内领先的半导体湿法设备巨头企业，随着湿法设备业务的持续放量，公司进入快速发展期；另外，公司积极布局半导体零部件、炉管、涂胶显影机等集成电路业务，以实现多产品布局，有望打开广阔的成长空间。我们维持至纯科技2022-2024年的归母净利润分别为3.81、5.55、7.26亿元，当前市值对应的PE分别37x、25x、19x，维持“买入”评级。

　　风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。