ICP设备快速放量，收入端实现高速增长

　　2022年公司营业收入47.40亿元，同比+52.50%，其中Q4实现营业收入16.97亿元，同比+63.88%，延续高速增长。分业务来看：1）刻蚀设备：

　　公司CCP刻蚀设备市占率不断提升，在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上实现多次批量销售。在稳固CCP设备龙头地位的同时，公司ICP设备快速放量，已在超过20个客户包括逻辑、DRAM和3DNAND等各类芯片生产线上进行超过100多个ICP刻蚀工艺的量产，并持续扩展到更多刻蚀应用的验证。2022Q1-Q3公司CCP和ICP设备收入分别为14.51和5.51亿元，分别同比+29.27%和+139.33%，在刻蚀设备中收入占比分别达到72.5%和27.5%，ICP占比快速提升。2）MOCVD设备：公司在蓝绿光LED生产线上处于全球领先地位，实现稳健增长。

　　新签订单方面，2022年公司新签订单63.2亿元，同比+53.0%，在手订单充足。随着订单陆续交付，我们判断公司2023年收入有望延续高增长。

　　非经常性损益压制利润端表现，真实盈利水平大幅提升

　　2022年公司实现归母净利润11.70亿元，落于业绩预告中上区间（10.80-12.00亿元），同比增加15.66%；其中Q4归母净利润为3.77亿元，同比-19.75%。2022年实现扣非归母净利润9.19亿元，落于业绩预告偏上限（8.60-9.40亿元），同比增加183.44%；其中Q4扣非归母净利润为2.76亿元，同比增加72.79%。2022年公司归母净利率和扣非归母净利率分别为24.68%和19.40%，同比-7.86pct和+8.96pct，真实盈利水平明显提升。

　　我们判断这一方面受益于产品结构改善，毛利率上升；另一方面受益于规模效应下期间费用率下降。2022年公司归母净利率有一定下降，主要系2022年非经常性收益同比减少约4.37亿元，其中包括：1）2022年计入非经常性损益的政府补助收益同比减少约1.65亿元；2）2022年公司因股权投资产生的公允价值变动收益和处置收益同比减少约3.42亿元，主要系部分股权投资于2021年产生较大的公允价值变动收益，2022年收益相对较小，以及公司持有的中芯国际的股票价格2022年有所下降。

　　积极持续推进新品研发，新基地建设打开成长空间

　　公司在巩固现有产品竞争优势的同时，积极推进新产品研发，打开市场空间。①CCP设备：积极与主流客户合作，定义下一代CCP刻蚀机的主要功能及技术指标，持续提升市占率。②ICP设备：PrimonanovaICP刻蚀产品已在超过15家客户生产线上进行100多个ICP刻蚀工艺的验证，工艺覆盖3DNAND、DRAM和逻辑芯片，并持续获得国际先进3DNAND客户批量订单。③MOCVD设备：积极布局第三代半导体设备，开发GaN功率器件量产应用的MOCVD设备，已交付国内外领先客户进行生产验证。④薄膜沉积设备：基于金属钨CVD设备，公司正进一步开发CVD和ALD，实现更高深宽比和更小关键尺寸结构填充，同时外延设备（EPI）研发进展顺利，已经进入样机制造和调试阶段。⑤量测设备：公司通过投资布局了第四大设备市场——光学检测设备，作为前道国产化率最低的环节，有望进入国产替代加速期。在产能方面，2021年公司连续启动南昌、临港产业基地、临港研发暨总部等建设项目，随着产能加速释放，为公司中长期高速增长奠定基础。

　　盈利预测与投资评级：我们维持2022-2024年营业收入预测分别为47.40、62.71和80.36亿元，当前市值对应动态PS分别为14、10、8倍。基于公司的高成长性，维持“买入”评级。

　　风险提示：晶圆厂扩产节奏不及预期，新品研发&产业化不及预期。