晶瑞电材:目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中
晶瑞电材(300655)在投资者关系活动记录表中称,公司i线光刻胶已向中芯国际、合肥长鑫等国内的知名大尺寸半导体厂商供货;KrF光刻胶生产及测试线已经建成,且KrF光刻胶部分品种已于2022年开始量产,今年将发力拓展新客户;公司于2020年启动了集成电路制造用高端光刻胶研发项目,并于2020年下半年购买了ASML1900Gi型光刻机及配套设备,目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中。
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